激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域的測量。其中，平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。

傳統(tǒng)的測量方法通常采用機(jī)械測量或光學(xué)測量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。

激光干涉儀平行度測量原理

平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

平行度測量配置及應(yīng)用

平行度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

激光干涉儀垂直度測量原理

垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測量配置及應(yīng)用

垂直度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。

激光干涉儀測量優(yōu)點(diǎn)

1. 高精度

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，精度可以達(dá)到納米級(jí)別，可以準(zhǔn)確地測量出平行度和垂直度的微小變化。

2. 非接觸性

SJ6000激光干涉儀不需要接觸被測物體，不會(huì)對(duì)被測物體產(chǎn)生影響，也不會(huì)因?yàn)槟p而導(dǎo)致誤差。

3. 快速穩(wěn)定

SJ6000激光干涉儀采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級(jí)的分辨率，測量速度非?？?；而且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，干涉光路穩(wěn)定可靠，保證了長時(shí)間的穩(wěn)定測量。

4. 適用范圍廣

激光干涉儀可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

總之，激光干涉儀是一種強(qiáng)大的測量工具，可以廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域的平行度和垂直度測量工作。它的出現(xiàn)為各種精密制造和科學(xué)實(shí)驗(yàn)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。